Мініатюрні тензодатчики – це прецизійні-силовимірювальні пристрої, розроблені на основі технології мікроелектромеханічних систем (MEMS). Належачи до категорії мікроелектромеханічних пристроїв, їх розмір можна зменшити до кількох міліметрів, а вагу лише до кількох грамів. Вони в основному досягають вимірювання шляхом генерування електричних сигналів шляхом механічної деформації мініатюрної діафрагми. Їх основним компонентом є тензодатчик MEMS, який з’єднано з підкладкою з нержавіючої сталі та високо{4}}температурним склом за допомогою передової технології.
Це обладнання охоплює такі типи, як мініатюрні датчики тиску та мініатюрні акселерометри, які мають низьку-деформацію, високу чутливість, роботу-в діапазоні та вбудований-модуль термокомпенсації. Технологія композитного пакування може контролювати дрейф температури в межах ±0,005%/градус. Його застосування розширилося до інтелектуальних переносних пристроїв, побутової електроніки, супутникових систем приводу сонячних панелей, систем зворотного зв’язку хірургічних роботів, моніторингу шлунково-кишкового тиску, що ковтається, інтелектуального складування Інтернету речей і систем раннього попередження про перегрівання для нових акумуляторних батарей транспортних засобів.
